16:00 〜 18:00 [15p-P13-10] 光熱拡散法における3C-SiCの不純物濃度の影響 〇鎌田 隼1、武市 慎矢2、香西 貴典2、藤原 健志2、小西 智也2、岡本 敏弘1、原口 雅宣1、釜野 勝2 (1.徳島大学、2.阿南工業高等専門学校)