13:45 〜 14:00 [16p-503-1] 飽和オゾン水処理と酸化膜エッチングによるInGaN/GaN系ナノ構造の精密エッチング 〇小川 航平1、石嶋 駿1、生江 祐介1、松岡 明裕1、水谷 友哉1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大理工、2.上智大ナノテクセンター)