2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[Jsp-16] テガサイエンス(株)

■薄膜研究開発用多目的コーティングシステム ■電子ビーム蒸着源 ■RFアトムソース ■サーマルガスクラッカー ■ナノクラスターソース ■有機蒸着源 ■スパッタソース