■大気圧プラズマ分析装置、プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計、ラングミュアプローブ、コンパクト型二次イオン質量分析計、自動昇温脱離ガス分析装置、TPD、TDS、残留ガス四重極質量分析計QMS、イオンミリング用エンドポイントディテクターEPD、大気圧ガスサンプリング、ガス分析計、多サンプル自動分析対応SIMSなど