■小型極低温プローバー（NISP） ■静電塗布装置（PDR-04型） ■テーブルコーチ（KOACH T 500-F：興研社製） ■H-Square製品　他

■超精密位置決めピエゾステージ ■超音波モータステージ ■微小力センサ

TBD

TBD

■大面積ダイヤモンド基板、サファイア基板、各種サファイアパーツ、小型基板洗浄機、金属ガラス部品

■原子間力顕微鏡 ■スターリング式冷凍機

■無収差型CCD分光器 ■高感度CCD、EMCCD、ICCD検出器

■MPMS3、PPMSシリーズ、サーマル走査プローブ描画装置、小型レーザー直接描画装置、液体ヘリウムリカバリー（再凝縮）装置　など

■自動整合器　他

■分光エリプソメーター ■ライフタイム測定装置 ■CV測定装置 ■DLTS ■フォトルミ

■卓上型走査電子顕微鏡

■レーザラマン分光光度計 ■多目的FTIR

TBD

■EPIREVO™ G8 6"/8" Single Wafer Multi- Reactor GaN-on-Si MOCVD ■EPIREVO™ S6 4"/6" Single Wafer SiC Epitaxial Reactor ■HT2000FD 8" Single Wafer Silicon Epitaxial...

■ラマン顕微鏡 ■グラフェン、カーボンナノチューブ ■SiC基板

TBD