2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

セッション情報

一般セッション(ポスター講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P1 (展示ホールB)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

13:30 〜 15:30

板垣 宏知1、廣瀬 伸吾2、金 載浩1、王 学論3、熊谷 直人3、小木曽 久人2、榊田 創1,3 (1.産総研電子光・先進プラズマプロセスグループ、2.産総研製造技術・積層加工システム研究グループ、3.産総研GaN-OIL・光デバイスチーム)

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