PDF ダウンロード スケジュール 22 いいね! 1 コメント (0) 11:30 〜 11:45 [14a-502-8] ミスト化学気相成長法によるm面サファイア基板上へのα-Ga2O3薄膜の作製と構造評価 〇太田 勝也1、関山 尊仁1、赤岩 和明1、阿部 友紀1、市野 邦男1 (1.鳥大院工) キーワード:酸化ガリウム、ミストCVD、結晶成長