2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14p-213-1~14] 6.4 薄膜新材料

2017年3月14日(火) 13:45 〜 18:30 213 (213)

土屋 哲男(産総研)、鈴木 宗泰(産総研)

13:45 〜 14:30

[14p-213-1] [6. 薄膜・表面　分科内招待講演] Indium Gallium Zinc Oxide(CAAC/CAC-OS)の発見とその応用

〇山崎 舜平1 (1.(株)半導体エネルギー研究所)

キーワード：酸化物半導体、CAAC/CAC-OS、電界効果移動度