2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[14p-213-1~14] 6.4 薄膜新材料

2017年3月14日(火) 13:45 〜 18:30 213 (213)

土屋 哲男(産総研)、鈴木 宗泰(産総研)

18:00 〜 18:15

[14p-213-13] キレートフレーム法により合成したGd添加CeO2膜の封孔処理

中村 祥太1、中村 淳1,2、小松 啓志1、齋藤 秀俊1 (1.長岡技科大、2.中部キレスト(株))

キーワード:キレートフレーム法、Gd添加CeO2(GDC)

本研究では、キレートフレーム法を用いて合成したGd添加CeO2の封孔処理を試みた。我々は、キレートフレーム法でGDC膜作製し、その後、(Ce 0.8 Gd 0.2)-EDTA溶液を用いて塗布法と大気焼成を行った。XRD結果より、得られたすべての試料が(Ce 0.7 Gd 0.3)O 1.85結晶を含有していることが分かった。EDX結果よりCeおよびGd原子の存在を確認した。キレートフレーム法後に塗布法と大気焼成を行うことで、封孔処理できると考えられる。