[14p-213-1~14] 6.4 薄膜新材料

[14p-213-4] スパッタ法で作製されたMoS₂薄膜のRHEEDと光電子分光による評価

〇米田 允俊¹、武田 さくら¹、田口 宗孝¹、松田 博之¹、大橋 匠²、清水 淳一²、Artoni Kevin Ang¹、橋本 由介¹、深見 駿¹、田中 一光¹、岡本 隆志¹、江波戸 達哉¹、大門 寛¹、若林 整²、木下 豊彦³ (1.奈良先端大、2.東工大、3.JASRI)

キーワード：光電子分光、二硫化モリブデン、スパッタリング