2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[14p-315-1~15] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

2017年3月14日(火) 13:15 〜 17:15 315 (315)

塩島 謙次(福井大)、牧山 剛三(富士通研)

15:00 〜 15:15

[14p-315-8] GaN自立基板上PNダイオードの逆方向リークと転位の関係

宇佐美 茂佳1、安藤 悠人1、田中 敦之2、永松 謙太郎2、久志本 真希1、出来 真斗2、新田 州吾2、本田 善央2、天野 浩2,3,4 (1.名大院工、2.名大未来材料.システム研究所、3.名大赤﨑記念研究センター、4.名大VBL)

キーワード:窒化物半導体、PNダイオード、Emission顕微鏡