15:00 〜 15:15
[14p-317-7] Pd/GeO/Geダイオード型水素ガスセンサに用いるGeO膜厚のX線反射率法による測定
キーワード：水素ガス、ゲルマニウム、パラジウム
Pd/GeO/Geダイオード型水素ガスセンサに用いるGeO薄膜の厚さをX線反射率法で測定した．その結果，GeOの厚さは成長温度400℃では約7nm，300℃では約4nmであることがわかった．この値はGeOのエッチングにより測定したあたいとは大きく異なった値である．
一般セッション(口頭講演)
1 応用物理学一般 » 1.3 新技術・複合新領域
2017年3月14日(火) 13:15 〜 16:00 317 (317)
松谷 晃宏(東工大)
15:00 〜 15:15
キーワード：水素ガス、ゲルマニウム、パラジウム