[14p-414-1~17] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-414-3] 走査型非線形誘電率ポテンショメトリを用いたGaN の自発分極測定に関する実験的検討

〇山末 耕平¹、長 康雄¹ (1.東北大通研)

キーワード：走査型非線形誘電率顕微鏡、走査型非線形誘電率ポテンショメトリ、自発分極

走査型非線形誘電率ポテンショメトリにおいて測定電位の距離依存性から自発分極の分極電荷密度を求められる可能性がある．本報告ではGaNの自発分極の測定を試みた結果について報告する．