[14p-419-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-419-12] (Ba,La)SnO₃エピタキシャル薄膜の電気伝導特性

〇三浦 光平¹、桐谷 乃輔¹、吉村 武¹、芦田 淳¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：酸化物半導体、BaSnO3

本研究では、結晶方位の異なるSrTiO₃基板上にBsSnO₃薄膜を作製し、キャリア輸送特性の評価を行い、その結晶学的異方性に関して検討を行った。