[14p-419-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [14p-419-13] RFマグネトロンスパッタにより格子不整合基板上に作製した表面平坦ZION薄膜

〇宮原 奈乃華¹、松島 宏一¹、徐 鉉雄¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九大)

キーワード：窒化インジウム亜鉛、スパッタリング、表面モフォロジー