講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

2017年3月14日(火) 13:15 〜 17:00 423 (423)

堀田尚二(日立)、山本洋揮(阪大)

15:45 〜 16:00

△ [14p-423-10] EUV反射率計用のMo/Siワイドバンド多層膜偏光子の開発

〇(M1)渡辺雅紀¹、井口晴貴¹、原田哲男¹、渡邊健夫¹ (1.兵庫県立大学)

キーワード：極端紫外線、Mo/Si多層膜、偏光制御