[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-423-13] ビルトインレンズマスクによる3次元フォトリソグラフィの検証

田中 利樹¹、杉原 大貴¹、笹子 勝¹、菊田 久雄¹、川田 博昭¹、〇平井 義彦¹ (1.阪府大工)

キーワード：フォトリソグラフィ、三次元、マスク

複素透過率をもつビルトインレンズマスク(BILM)によるレンズ効果を利用し、3次元リソグラフィの可能性についての実験結果を報告する。ここでは、実際にビルトインレンズマスクを試作し、これを用いた露光実験を行い、ピラミッド構造などの3次元構造の露光実験を行った。その結果、シミュレーション予測に対応する3次元構造の作製が検証できた。