[14p-424-1~16] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-424-2] HSAを用いたREELS測定によるリチウム K吸収端評価

〇田口 昇¹、田中 章泰²、吉田 木の実²、堤 建一²、前田 泰¹、田中 真悟¹ (1.産総研電池技術、2.日本電子(株))

キーワード：電子エネルギー損失分光、電子顕微鏡、リチウム

Li元素の分析は、リチウムイオン電池開発等への応用が考えられ、特に、電極の大きさレベル(umオーダー)の視野で試料を評価可能な、SEMベースのLi分析手法を検討している。本研究では、より精度の高い化学状態分析を実現する観点から、エネルギー分解能により優れる静電半球型アナライザ(HSA）を用いた電子分光スペクトル取得を検討し、Li化合物中におけるLiスペクトル評価への有効性を検討した。