[14p-512-1~15] 3.7 レーザープロセシング

△ [14p-512-7] 高反応性分散液中レーザー照射プロセスによるSiナノ結晶コロイド粒子の発光効率の改善とサイズ分布の狭小化

〇(D)袁 澤¹、中村 俊博²、安達 定雄²、松石 清人¹ (1.筑波大数理物質系、2.群馬大院理工)

キーワード：シリコンナノ粒子、レーザーアブレーション、フォトルミネッセンス

可視発光を示すSiナノ結晶粒子は安価で環境に優しい材料として様々な応用が期待されている。近年、Siナノ粒子を簡便に作製できる手法として液中レーザー照射法が報告された。しかし、この手法で生成されたSi粒子の発光量子効率（~11%）は、他の手法で作製された粒子の値（~25%）に較べて低く、生成される粒子径分布も広い。さらに、粒子の生成収量が低い点も問題であった。この液中レーザー法を実用的なプロセスとするためには、これらの問題点の改善が必要であった。これまで本研究グループでは、高い反応性を有する多孔質Siをターゲットとした液中レーザー法によって、Siナノ結晶の高効率生成や、発光色制御[5]を行った。本研究では、この手法をさらに発展させ、HFを含む有機溶媒を用いた高反応分散液中パルスレーザー照射によるSiナノ結晶コロイド粒子の発光効率の大幅な改善とサイズ分布の狭小化に成功した。