[14p-B5-1~11] 15.1 バルク結晶成長

[14p-B5-4] CZ-Si結晶成長における成長速度と界面形状の数値解析

〇西原 雄太¹、刈谷 宣政¹、沓掛 穂高²、太子 敏則²、干川 圭吾² (1.エム・セテック（株）、2.信州大学)

キーワード：CZ-Si結晶成長

CZ-Si結晶成長における成長速度と結晶界面形状の関係を数値解析した。界面形状の計算結果は実験と良く一致した。また成長速度の増加に伴って凸面大きさも増加した。