[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-15] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン膜の形成

〇石川 敦士¹、太田 貴之¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング、DLC