[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-16] 大気圧プラズマを用いた多孔性シリカ分離膜の製膜と気体透過特性

〇長澤 寛規¹、山本 裕太¹、金指 正言¹、都留 稔了¹ (1.広大院工)

キーワード：大気圧プラズマ、多孔性シリカ膜、化学気相蒸着

大気圧プラズマを反応場とする気相蒸着法により，分子ふるい効果を有する多孔性シリカ膜を室温近傍の低温で製膜した．得られたシリカ膜は優れた気体透過性と分離性を示し，水素分離膜や二酸化炭素分離膜としての応用が期待できる．前駆体や放電ガス組成を変化させて膜構造を制御することにより，透過特性の精密なチューニングの可能性を検討した．