[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-7] DLC成膜用炭化水素プラズマの質量分析およびプローブ診断

〇深井 駿¹、大野 裕也¹、小田 昭紀¹ (1.千葉工大)

キーワード：DLC、炭化水素ガス、高周波プラズマ

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、高硬度や耐摩耗性などの特性をもっており、切削工具や自動車部品などの幅広い分野に応用されている。このとき、DLC膜の成膜源である炭化水素プラズマと成膜品質の相関には未解明な部分が多く、炭化水素プラズマの諸特性を理解することは非常に重要である。本研究では、四重極質量分析装置を用いて炭化水素プラズマ中の各粒子の密度の測定を行ったので、その結果について報告する。