PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 3 コメント (0) 16:00 〜 18:00 [14p-P7-7] Q値100万を超えるシリコンナノ共振器への液相ポストプロセス付加 〇伊藤 隆浩1、芦田 紘平1、植田 眞由1,2、床波 志保1、飯田 琢也2、岡野 誠3、山田 浩治3、高橋 和1 (1.大阪府大院工、2.大阪府大院理、3.産総研) キーワード:高Q値ナノ共振器