[15a-315-1~10] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[15a-315-10] 表面活性化接合法による Al箔/n⁺-Si/n-GaN 接合のコンタクト抵抗評価

〇森田 匠¹、西村 拓也¹、梁 剣波¹、松原 萌子²、ダムリン マルワン²、西尾 佳高²、重川 直輝¹ (1.大阪市大工、2.東洋アルミ)

キーワード：表面活性化接合法