[15a-423-1~9] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[15a-423-1] インプリントアライメントに向けた蛍光モアレの観察

〇菊地 英里¹、石戸 洋太¹、松原 信也²、中村 貴宏¹、阿部 誠之²、中川 勝¹ (1.東北大、2.旭化成)

キーワード：ナノインプリント、アライメント、蛍光

シリカモールドと光硬化性液体との屈折率マッチングにより反射光学顕微鏡観察が困難な状態で光ナノインプリントのアライメントを行うことを本研究の目的とした。光硬化性液体の代わりに蛍光色素添加液体を用いた系にてアライメントマークをインリキッド状態で可視化でき、重ね合わせた異なる周期のパターンから蛍光モアレが発生した。クロスバーによるコースアライメントや、モアレによる高精度アライメントの原理検証に成功した。