[15a-423-1~9] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[15a-423-6] 連続ＵＶナノインプリントにおける離型層の耐久性の改善検討

〇伊吉 就三¹、岡田 真¹、春山 雄一¹、松井 真二¹ (1.兵庫県立大　高度研)

キーワード：UVナノインプリント、UV硬化性樹脂、離型層の耐久性

連続運転が可能なUVナノインプリント試験装置を用いてモールド離型層（ASL）の耐久性の検討してきた。ASLの耐久性は、凝縮性ガス、添加剤およびレベリング剤（フッ素系界面活性剤）、インプリント条件、ASL、UV硬化性樹脂（レジスト）が関わっている。本研究では、レジストの組成に焦点をあて、特定のUV硬化性樹脂に異なる化学構造を有するUV硬化性樹脂をブレンドし、ASLの耐久性への影響を観察した。