[15a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-502-2] 直流マグネトロンスパッタ法による多結晶 Al 添加 ZnO 透明導電膜における配向秩序制御

〇(PC)野本 淳一¹、北見 尚久^1,2、渡辺 剛³、牧野 久雄¹、酒見 俊之²、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研、2.住友重機械工業株式会社、3.高輝度光科学研究センター)

キーワード：酸化亜鉛、結晶配向