[15a-512-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[15a-512-1] フェムト秒レーザーパルス対照射により誘起されるジルコニアセラミックス表面の周期構造

〇欠端 雅之¹、小山 達己²、屋代 英彦¹、西川 正²、鳥塚 健二¹ (1.産総研　電子光、2.東電大)

キーワード：フェムト秒レーザー、ジルコニアセラミックス、表面周期構造

これまでフェムト秒レーザー(1030nm, 810nm, 515nm, 343nm) を用いて3Y-TZP表面に周期構造形成を行い、偏光に平行で周期Λが波長λと同程度か波長より大きなLIPSSの形成を確認してきた。今回、形成機構の検討を目的とし、偏光が直交するパルス対を時間遅延を変えて照射し形成される周期構造を観測した。