[15a-P2-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[15a-P2-8] XeF₂気相エッチングとスンプ法によるセルロイドマイクロレンズアレイの製作

〇松谷 晃宏¹、髙田 綾子² (1.東工大マイクロプロセス、2.東工大バイオ)

キーワード：マイクロレンズ

細胞の機能の解析や医療分野の応用への単一細胞操作のため，我々はマイクロピラーアレイ構造のマイクロ囲いを開発して大腸菌や酵母の単一細胞分離やサイズ分離に成功した。この単一細胞分離構造にレンズを組み合わせれば，光でトラップするなどの細胞操作機能も加えることが期待できる。今回は， XeF₂気相エッチングにより形成されたSiモールドを用いたスンプ法によるマイクロレンズアレイを製作し，集光機能を確認したので報告する。