[15a-P4-1~13] 1.5 計測技術・計測標準

[15a-P4-8] QCM用水晶振動子の外形加工による発振特性変化

〇勝亦 徹¹、松元 健² (1.東洋大学理工学部応用化学科、2.株式会社マツモト精密工業)

キーワード：水晶マイクロ天秤、水晶発信器

QCMセンサの高性能化を目的として、振動子の表面を球面加工し、ノイズ低減や共振特性に与える球面加工の影響を検討した。