[15p-304-1~10] 長期保管メモリのための高信頼配線技術

[15p-304-5] 半導体集積回路配線の信頼性課題と寿命予測

〇横川 慎二¹ (1.電通大iPERC)

キーワード：半導体、配線、信頼性

超長期信頼性の議論に際し，半導体集積回路配線の信頼性の課題を概括する．EM，SIV，TDDBなどの摩耗故障の評価については既に長年研究が進められ，評価や寿命予測方法が確立されている．ところが，信頼性試験を加速することにも物理的な限界があるため，100年を超える長期信頼性を予測・評価するには，統計学上の課題を考慮する必要がある．本講演では，それらの課題に対処する方法を議論する．