[15p-316-1~15] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

△ [15p-316-8] NbTiN薄膜によるナノ構造CMOSドライバの作製

〇鈴木 雅斗¹、丸山 晃平¹、田中 雅光¹、赤池 宏之¹、藤巻 朗¹ (1.名大院工)

キーワード：超伝導、ナノクライオトロン