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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

2017年3月15日(水) 13:15 〜 18:15 412 (412)

赤坂大樹(東工大)、大越康晴(電機大)、中村挙子(産総研)

14:00 〜 14:15

[15p-412-4] 大気開放マイクロ波CVDによるDLC膜の作製と評価

〇弓達新治¹、林矩¹、夏井潤¹、柳田啓一郎¹、山本和也¹、本村英樹¹、八木秀次¹ (1.愛媛大)

キーワード：大気開放マイクロ波CVD、DLC