[15p-419-1~8] 加速器・宇宙科学における真空技術の現状と展望

[15p-419-8] 新世代放射光源におけるNEGコーティング技術の応用

〇谷本 育律¹ (1.高エネ研)

キーワード：非蒸発型ゲッターコーティング、放射光、光刺激脱離

新世代高輝度放射光源では十分な電子ビーム寿命を得るために必要な10^-8 Pa台の超高真空を実現することが困難となってきている。その主要因はビームダクトが内径約25mmに狭小化され、放射光照射による光刺激脱離（PSD）ガスを効率良く排気できないためである。このPSDガス放出の低減とビーム路における実効排気速度向上を同時に実現させる手段として、ダクト内面にTiZrVの非蒸発型ゲッター（NEG）材を成膜するNEGコーティングが注目されている。