[15p-512-1~9] ナノインプリント技術の進展と展開

[15p-512-3] ナノインプリントにおけるレジスト分子挙動の理論解析

〇安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大阪府大院工)

キーワード：ナノインプリント、分子動力学、分子挙動

ナノインプリントによる数10nm以下の極微細構造形成においては，レジスト材料の分子挙動が成型性に影響を及ぼすことが予想されるため，分子レベルの材料構造解析の必要性が高くなる．本講演では，分子動力学法を中心としたシミュレーションによりナノインプリントにおけるレジスト中の分子挙動と成型性の関係を解析した例を紹介する．