[15p-512-1~9] ナノインプリント技術の進展と展開

[15p-512-5] Roll to Roll ナノインプリントの進展と新しい展開

〇谷口 淳¹ (1.東理大基礎工)

キーワード：ロールトゥロールナノインプリント、ロールモールド、光硬化樹脂

ロールトゥロールナノインプリントリソグラフィ（RTR-NIL）技術は、ナノパターンを高速に作製することができる。RTR－NILの歴史、方式、これまでの開発状況を説明し、その後、今後の展開に関して概説する。