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△ [15p-F201-1] VI族蒸気圧制御によるCu2ZnSn(S,Se)4薄膜の作製
キーワード:カルコゲナイド、太陽電池
これまで、本研究室ではVI族元素およびSnの粉末とCu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSe)膜を容器に同梱してアニール処理を行ってきた。アニール時のVI族蒸気を制御するために任意の時間に石英ロッドを用いてSまたはSe粉末をアニール炉内へ供給する装置を開発した。アニール時にSを添加した場合、CZTSSe膜のS/(S+Se)比がほとんど変化しなかった。一方、Seを添加することによってS/(S+Se)比は0.60から0.51まで低下した。さらに、容器内のSを減少させることでS/(S+Se)比は0.40まで減少した。