[15p-F202-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[15p-F202-5] チタン窒化物ナノ構造によるラマン散乱増強効果

〇江本 智¹、平井 悠司¹、下村 正嗣¹、松尾 保孝²、三友 秀之²、新倉 健一²、居城 邦治² (1.千歳科技大、2.北大電子研)

キーワード：ラマン散乱、窒化物チタン

貴金属ナノ構造に光を照射することで局在表面プラズモン共鳴が誘起され、これにより生じる電場増強効果を利用することで高感度にラマン散乱光を測定する表面増強ラマン散乱(SERS)の研究が数多く行われている。最近、貴金属以外で可視光域にプラズモンを有する材料としてチタン窒化物(TiN)が報告され、プラズモンデバイスへの応用が期待されている。本報告では電子線リソグラフィによりTiNナノ構造を作製し、 SERS特性について検討を行った。