[15p-P11-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[15p-P11-5] Mgイオン注入Siにおけるシリサイドナノ結晶の形成

〇(M2)小林 勇輝¹、内藤 宗幸²、Cyril Bachelet³、Jerome Bourcois³ (1.甲南大学大学院自然科学研究科、2.甲南大学理工学部、3.Centre de Sciences Nucleaires et de Sciences de la Matiere)

キーワード：イオン注入