[15p-P13-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-P13-4] Sbドーピングによるβ-FeSi₂エピタキシャル膜の電子密度制御

〇飯沼 元輝¹、江口 元¹、村社 尚紀¹、星田 裕文¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：半導体、ベータ鉄シリサイド、Sbドーピング