[15p-P14-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[15p-P14-9] RFマグネトロンスパッタ法を用いたSrTa₂O₆薄膜の作製と評価

〇高橋 崇典¹、宝賀 剛¹、安井 寛治²、末松 久幸²、浦岡 行治³、内山 潔¹ (1.鶴岡高専、2.長岡技科大、3.奈良先端大)

キーワード：ゲート絶縁膜、薄膜トランジスタ