[15p-P15-1~17] 13.5 デバイス／集積化技術

[15p-P15-16] スパッタエピタキシー法を用いたSiGe HEMT用S/D電極形成技術

〇出蔵 恭平¹、本橋 叡¹、大久保 克己¹、広瀬 信光²、笠松 章史²、松井 敏明²、塚本 貴広¹、須田 良幸¹ (1.東京農工大院工、2.情報通信研究機構)

キーワード：半導体、高電子移動度トランジスタ