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[15p-P16-2] Moスパッタ膜へのナノ粒子塗布によるCu2ZnSnS4薄膜の作製
キーワード:CZTS
CZTS薄膜の作製法として、スパッタ等の真空プロセスに代わる非真空プロセスが盛んに研究されている。前回我々は、非真空プロセスの一つであるナノ粒子塗布法によりガラス基板上に作製したCZTS薄膜について報告した。今回は、同じ方法により、CZTS太陽電池に使用される構造であるMoコートしたガラス基板上にCZTS薄膜を堆積させる。温度と時間を変化させながら焼結して薄膜を作製し、良質なCZTS薄膜が得られる条件を調査する。