PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 0 コメント (0) 13:30 〜 15:30 [15p-P8-1] DLTS法を用いたSiパワーデバイスのプロトン照射欠陥の評価 〇清井 明1、湊 忠玄1、多留谷 政良1 (1.三菱電機) キーワード:半導体、シリコン、点欠陥