2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16a-315-1~10] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2017年3月16日(木) 09:00 〜 11:30 315 (315)

古閑 一憲(九大)

11:15 〜 11:30

[16a-315-10] ポーラスタングステンのヘリウムプラズマ照射によるナノ構造化

梶田 信1、田中 宏彦2、大野 哲靖2 (1.名大未来研、2.名大院工)

キーワード:金属ナノ構造体、ヘリウムバブル、ヘリウムプラズマ

ヘリウムプラズマ照射により様々な金属表面に綿毛上のナノ構造が形成されることが分かってきている。このナノ構造化は,金属中に高圧のヘリウムバブルが形成され,その成長が重要な役割を担っていると考えられている。本研究では,タングステン(W)粉末を焼結し形成されたポーラスWへのヘリウムプラズマ照射を行い,その光学特性を調べた。