[16a-315-1~10] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [16a-315-8] パルス変調型誘導熱プラズマを用いたSi ナノ粒子の大量生成時における原料供給タイミングの光学的検討

〇(M1)石坂 洋輔¹、清水 光太郎¹、兒玉 直人¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、石島 達夫¹、末安 志織²、渡邉 周²、中村 圭太郎² (1.金沢大院自然、2.日清製粉グループ本社)

キーワード：Siナノ粒子、誘導熱プラズマ、二次元分光観測

筆者らの独自手法「原料間歇供給を伴う変調誘導プラズマ法」は，Si ナノ粒子を高生成レートで生成可能である．高い生成レートの実現には，高温時の変調熱プラズマに大量の原料粉体を同期供給し，効率的に蒸発させることが重要である。本報告では，トーチ内における投入原料および蒸発原料の時空間的な分布を二次元分光観測(2D-OES)により検討した．その結果，高温の熱プラズマと同期して、大量の原料を供給できていることが確認できた．