[16a-412-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[16a-412-2] [第8回シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演] 金属/Ge 界面のショットキー障壁高さの制御に向けたフェルミレベルピンニングの再考

〇西村 知紀¹、矢嶋 赳彬¹、鳥海 明¹ (1.東大)

キーワード：シリコンテクノロジー分科会論文賞