[16a-512-1~8] 薄膜・多層膜の界面イメージング

[16a-512-7] X線による表面・界面構造解析の新たな展開：X線の位相を利用したイメージング法との融合

〇矢代 航^1,2 (1.東北大多元研、2.JST-ERATO)

キーワード：Ｘ線イメージング、回折格子、極小角Ｘ線散乱

Ｘ線回折格子干渉法を利用した表面・界面構造解析の試みについて紹介する。本研究では、帯状のビームを試料表面に微小角入射させたときに生じる鏡面反射Ｘ線に対して、回折格子干渉計を構成し、Ｘ線の波面計測を行った。これによりＸ線反射率の実空間分布だけでなく、表面の湾曲や、ビジビリティコントラスト（極小角散乱に起因するコントラスト）の実空間分布を取得することが可能になった。