[16a-E204-1~10] 2.2 検出器開発

△ [16a-E204-2] STEM-TES-EDS用ポリキャピラリーレンズの開発

〇高野 彬¹、前畑 京介¹、伊豫本 直子¹、原 徹²、満田 和久³、山崎 典子³、田中 啓一⁴ (1.九大工、2.NIMS、3.JAXA、4.日立ハイテクサイエンス)

キーワード：ポリキャピラリー、TES型マイクロカロリメータ、走査透過型電子顕微鏡

走査透過型電子顕微鏡（STEM）に超伝導相転移端温度計（TES）型マイクロカロリメータを搭載したエネルギー分散型X線分光（EDS）システムの開発を行っている。検出器の実効的な検出立体角を大きくするためにポリキャピラリーレンズを使用している。多ピクセルTES型マイクロカロリメータを実装するために、独自に構築したシミュレーションモデルを使用して新たなポリキャピラリーレンズを設計した。